涂层测厚仪的校准

1.比较测量值时应考虑哪些统计参数?

以下参数对于比较测量值很重要:算术平均值、标准偏差、单个测量值的数量。

如果没有相关的标准偏差和测量的数量,则无法以有意义的方式相互比较平均值。

2.为什么需要校准?

每种物理测量方法都受涂层和基体参数的影响。这些参数是:工件的几何形状、电导率、磁化率、镀层密度、测量表面等。

每次涂层或基材的这些参数发生变化时,都需要重新校准测量仪器。

3.我正在一块平板上校准我的测量仪器。现在我想测量一个小直径的曲面样品。在不进行任何进一步校准的情况下,是否可以继续?

不行,在平板上的校准会在曲面上引起系统上的测量误差。这意味着测量值将过大。这是因为仪器对样品(这里是曲面物体)的测量信号进行了评估,但是以平面样品进行的评估。

4.为什么双方会得到不同的测量结果?原因是什么?

计量器具的精度由校准片保证。校准必须在真实、无涂层的样品上进行。此外,必须注意在相同的测量位置进行测量。为了得到一个有效的平均值,进行足够多次的测量也是很重要的。

5.如何验证干膜测厚仪测试的校准效果?

通过把校准箔放在样品基材上进行测量来检查校准效果。这个测量位置必须要与你之后要测量的位置相同。Fischer随机配备的基材校准板并不适用于此目的。



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